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添加元素对Fe-Ta-C薄膜晶化过程的影响

摘要：	添加元素对Ｆｅ－Ｔａ－Ｃ薄膜晶化过程的影响根据晶体结构和磁性能的变化，研究了添加合金元素Ｎｂ和Ｃｒ对Ｆｅ－Ｔａ－Ｃ合金薄膜晶化过程的影响。用溅射法制备Ｆｅ－Ｔａ－Ｃ合金薄膜。Ｆｅ７８．５Ｔａ８．０Ｃ１３．５合金靶（纯度＞９９．９％）添加Ｎｂ、Ｃｒ元素...
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