| 射频激光对氧化铝陶瓷基片划片的研究 |
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| 引用本文： | 侯廉平,陈培峰,陈清明. 射频激光对氧化铝陶瓷基片划片的研究[J]. 激光技术, 2003, 27(4): 352-356 |
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| 作者姓名： | 侯廉平 陈培峰 陈清明 |
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| 作者单位： | 1.华中科技大学激光技术与工程研究院, 武汉, 430074 |
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| 摘 要： | 分析了RFCO2激光陶瓷基板划片的机理及工艺参数选择的原则。通过数值模拟和实验,分析了脉冲频率、脉冲宽度、划片速度、辅助气压大小、离焦量等工艺参数对激光划片质量的影响。
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| 关 键 词： | RFCO2激光器 划片 氧化铝陶瓷基片 数值模拟 |
| 文章编号： | 1001-3806(2003)04-0352-05 |
| 收稿时间： | 2002-08-29 |
| 修稿时间： | 2002-08-29 |
Study on laser scribing of Al2O3 ceramic substrate with RF CO2 laser |
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| Hou Lianping,Chen Peifeng,Chen Qingming. Study on laser scribing of Al2O3 ceramic substrate with RF CO2 laser[J]. Laser Technology, 2003, 27(4): 352-356 |
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| Authors: | Hou Lianping Chen Peifeng Chen Qingming |
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| Abstract: | The mechanism of scribing ceramic substrate with RF CO 2 laser and fundamental choice law of technical parameters are analyzed.Through numerical simulation and experiment,the influences of factors such as frequency of pulse,pulse width,scribing speed,pressure of assistant air on the quality of laser scribing are investigated. |
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| Keywords: | RF CO 2 laser scribing Al 2O 3 ceramic substrate numerical simulation |
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