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激光加工微孔工艺及质量研究
作者姓名:刘训欢  孙树峰  张丰云  王茜  姜明明  赵大利  魏涛  邵晶  王萍萍
作者单位:青岛理工大学机械与汽车工程学院,山东青岛 266520;青岛理工大学机械与汽车工程学院,山东青岛 266520;青岛黄海学院,山东青岛 266427
基金项目:国家自然科学基金(No.51775289);;山东省自然科学基金山东省重大基础研究项目(No.ZR2018ZB0524);;山东省重点研发计划(No.2019GGX104097,2019JZZY010402);;高等学校学科创新引智计划(No.D21017);
摘    要:随着高端精密装备的飞速发展,人们对高质量微孔的需求越来越迫切。激光加工凭借其加工精度高、效率高、无污染、应用材料范围广等优点成为微孔加工制造的首选方法。文章首先对激光加工微孔的质量特征(如深径比、锥度、圆度等)进行了介绍;其次总结归纳了激光加工方式(复制法和轮廓迂回法)、辅助方式(真空、气体、水等因素)和超声-激光复合加工对微孔质量的影响;最后对激光加工微孔存在的问题进行总结,并对未来发展方向进行了展望。

关 键 词:激光打孔  微孔质量  打孔方式  辅助方式  复合加工
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