| 基于硅结构的微流体控制系统 |
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| 引用本文： | 程秀兰,蔡炳初,徐东,陈鉴,王莉.基于硅结构的微流体控制系统[J].微细加工技术,2002(2):58-67. |
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| 作者姓名： | 程秀兰 蔡炳初 徐东 陈鉴 王莉 |
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| 作者单位： | 上海交通大学微纳米科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030 |
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| 基金项目： | 教育部博士点基金资助项目 (980 2 4 838) |
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| 摘 要： | 基于硅结构的微流体控制系统（μFCS）是微机电系统（MEMS）中的一个重要分支 ，可广泛用于生物、医学、化工、电子等领域。主要综述了微流体控制系统中的微流体传感器、微型泵、微型阀的工作结构原理及其国内外研究现状，同时还探讨了集成微流体控制系统的研究现状。
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| 关 键 词： | 硅结构 微流体 控制系统 微机电系统 传感器 微型泵 微型阀 MEMS |
| 文章编号： | 1003-8213(2002)02-0058-10 |
| 修稿时间： | 2001年10月10 |
Micro Fluidic Controlling System Based on Silicon Structure |
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| CHENG Xiu-lan,CAI Bing-chu,XU Dong,CHEN Jian,WANG Li.Micro Fluidic Controlling System Based on Silicon Structure[J].Microfabrication Technology,2002(2):58-67. |
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| Authors: | CHENG Xiu-lan CAI Bing-chu XU Dong CHEN Jian WANG Li |
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