CWCG0.003型固态微差压传感器技术简介 |
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引用本文: | 王文襄,谢达全,陈洛生.CWCG0.003型固态微差压传感器技术简介[J].自动化仪表,1983(2). |
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作者姓名: | 王文襄 谢达全 陈洛生 |
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作者单位: | 宝鸡传感器研究所,宝鸡传感器研究所,宝鸡传感器研究所 |
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摘 要: | 固态压阻传感器自其诞生以来,以其灵敏度高、可靠性好及体积微小等突出优点,成为传感器领域中极为活跃的一支。我们设计并研制成功的 CWCG0.003型固态微差传感器,采用梁形扩散硅压阻应变片为弹性应变元件,完成力电转换。传感器力学结构的设计,确保微小压力在应变梁上获得较大的应变,从而得到很高的灵敏度。
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