| 使用长脉冲高能激光对石英玻璃打孔 |
| |
| 引用本文： | 戴罡,陆建,刘剑,张梁,倪晓武.使用长脉冲高能激光对石英玻璃打孔[J].光学精密工程,2011,19(2):380-386. |
| |
| 作者姓名： | 戴罡 陆建 刘剑 张梁 倪晓武 |
| |
| 作者单位： | 南京理工大学理学院应用物理系,江苏,南京,210094 |
| |
| 基金项目： | 江苏省创新基金资助项目(No.AD20286) |
| |
| 摘 要： | 为了实现玻璃上的高效快速打孔,研究了使用长脉冲激光在石英玻璃上打孔的方法.通过在玻璃表面镀制ZrO2,解决了石英玻璃对1 064 nm激光吸收弱的问题.使用脉宽为1 ms,波长为1 064 nm的Nd:YAG激光在石英玻璃上打出了深为1.55 mm的锥形孔.研究了激光打孔的能效比,结果显示,当激光的能量密度为6.8 k...
|
| 关 键 词： | 激光打孔 高能激光 长脉冲激光 石英玻璃 |
Experiment of long pulse high energy laser drilling on silica glass |
| |
| DAI Gang,LU Jian,LIU ban,MANG Liang,NI Xiao-wu.Experiment of long pulse high energy laser drilling on silica glass[J].Optics and Precision Engineering,2011,19(2):380-386. |
| |
| Authors: | DAI Gang LU Jian LIU ban MANG Liang NI Xiao-wu |
| |
| Affiliation: | DAI Gang,LU Jian,LIU Jian,ZHANG Liang,NI Xiao-wu(Department of Applied Physics,Nanjing University of Science and Technology,Nanjing 210094,China) |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | laser drilling high energy laser long pulse laser silica glass |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
