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气质联用仪在六氟化硫杂质痕量分析中的应用
作者姓名:于洋  任越
作者单位:中昊光明化工研究设计院有限公司,辽宁大连116031
摘    要:通过实验阐明了气质联用在气体分析中的应用,对气体中不同浓度六氟化硫的线性、数据重复性以及灵敏度进行考察,确定了气质联用仪对气体中六氟化硫杂质痕量分析的可靠性.

关 键 词:气质联用  气体分析  六氟化硫
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