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| 国外光致抗蚀剂材料的最新动向 | |
| 引用本文： | 闻芹堂,周建竞.国外光致抗蚀剂材料的最新动向[J].江苏化工,1983(1). |
| 作者姓名： | 闻芹堂 周建竞 |
| 作者单位： | 无锡化工研究所，无锡化工研究所 |
| 摘 要： | 前言感光性树脂是国外近年来发展较快的一种新型功能高分子材料。光致抗蚀剂.是光刻工艺所采用的感光性树脂的总称,是光刻工艺中不可缺少的重要材料。现在已广泛应用于印刷、电子、照相、涂料、金属加工等工业部门。近年来,随着这些工业部门技术革新的迅速发展,对光致抗蚀剂性能的要求也越来越高,特别是电子工业,制造超大规模集成电路已提到议事日程,原来采用的一般光刻工艺(紫外线曝光),已不能满足要求。采用波长较短的远紫外, |
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