SmCo_7永磁薄膜的高温磁性能(英文) |
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作者姓名: | 彭龙 涂小强 李乐中 王瑞 |
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作者单位: | 成都信息工程学院; |
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基金项目: | Scientific Research Foundation of CUIT(KYTZ201112);Young and Middle-Aged Academic Leaders of Scientific Research Funds of CUIT(J201222) |
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摘 要: | 研究了以Mo为衬底在Si(100)基片上沉积SmCo7永磁薄膜的高温磁学性能。结果表明,高温老化处理对薄膜的晶体结构和磁性能没有显著影响。根据趋近饱和定律和薄膜的高温磁化曲线,获得了磁晶各向异性常数K1随温度的变化关系。该关系说明随着温度的增加,SmCo晶粒的取向在一定程度上受到了破坏。此外,薄膜磁性能随温度的变化关系适当,可以满足在微电子机械系统(MEMS)中的应用。
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关 键 词: | 稀土永磁 SmCo薄膜 高温应用 MEMS |
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