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| 铜及铜合金的化学抛光工艺改进 | |
| 引用本文： | 蔡棣清,陈旭东.铜及铜合金的化学抛光工艺改进[J].四川化工,1997(1). |
| 作者姓名： | 蔡棣清 陈旭东 |
| 作者单位： | 中国科学院广州电子技术研究所 510070 (蔡棣清)，广州市东科工艺有限公司 510070(陈旭东) |
| 摘 要： | 本文介绍了改进的铜及铜合金化学抛光工艺,简介了该工艺的流程,化学抛光液和脱膜液的配方及工艺条件,还分析了硝酸及过氧化氢浓度、乙醇及LC添加剂、抛光时间及搅拌速度等对该工艺的影响。 |
| 关 键 词： | 铜 铜合金 化学抛光 |
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