| 一种“绝对型”电容薄膜真空计的研制 |
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| 引用本文： | 吴家庆,黄岩彬,赵应丁,杨晓继,吴子宁.一种“绝对型”电容薄膜真空计的研制[J].真空科学与技术学报,1994(4). |
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| 作者姓名： | 吴家庆 黄岩彬 赵应丁 杨晓继 吴子宁 |
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| 作者单位： | 清华大学电子工程系!北京100084 |
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| 摘 要： | 介绍用磁控溅射制作的从大气往真空约覆盖5个量程的“绝对型”电容薄膜真空规，以及与该真空规配套的真空计的电路。该真空计测量范围为1．3～105Pd，真空规与电容信号检测电路置于同一金属壳内，以避免外界干扰。规的恒温胜温度波动小于±0．1℃，有效地降低了温度的影响。电路的非线性小于0．4％，高真空下北输出漂移小于0．1％，在13～105Pa各量程内，最大校准误差小于读数的4％。
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| 关 键 词： | 电容 薄膜 真空计 |
DEVELOPMENT OF AN ABSOLUTE CAPACITANCE DIAPHRAGM VACUUM METER |
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| Wu Jiaqing, Huang Yanbin, Zhao Yingding, Yang Xiaoji, Wu Zining.DEVELOPMENT OF AN ABSOLUTE CAPACITANCE DIAPHRAGM VACUUM METER[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,1994(4). |
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| Authors: | Wu Jiaqing Huang Yanbin Zhao Yingding Yang Xiaoji Wu Zining |
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| Keywords: | Capacitance Diaphragm Vacuum-meter |
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