| 面向半导体制造业的统计过程分析与控制 |
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| 引用本文： | 聂斌,齐二石. 面向半导体制造业的统计过程分析与控制[J]. 工业工程, 2004, 7(6): 58-61 |
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| 作者姓名： | 聂斌 齐二石 |
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| 作者单位： | 天津大学,管理学院,天津,300072;天津大学,管理学院,天津,300072 |
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| 摘 要： | 传统的统计过程控制方法不能完全适应半导体制造业生产形式需要。本文在分析半导体光电封装制造模式的特点和实施过程控制所面临的问题的基础上，提出一种基于聚类分析的统计质量控制方法。通过实证分析，证实了该方法的可操作性并取得了良好的实际效果。
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| 关 键 词： | 统计过程控制 聚类分析 休哈特控制图 方差分析 半导体制造 |
| 文章编号： | 1007-7375(2004)06-0058-04 |
| 修稿时间： | 2003-08-22 |
Analysis and Control of the Statistical Process in Semiconductor Manufacturing Industry |
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| NIE Bin,QI Er-shi. Analysis and Control of the Statistical Process in Semiconductor Manufacturing Industry[J]. Industrial Engineering Journal, 2004, 7(6): 58-61 |
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| Authors: | NIE Bin QI Er-shi |
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| Abstract: | Precise control of statistical processes is increasingly important in today's semiconductor manufacturing industry. This paper proposes a methodology for the simulation of Cluster Analysis and Shewhart control charts. The method is applied in a real environment and its capabilities are validated. |
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| Keywords: | statistical process control (SPC) cluster analysis Shewhart control chart analysis of variance (ANOVA) semiconductor manufacturing |
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