| 采用真空镀膜制备的叠层结构有机场效应晶体管的研究 |
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| 引用本文： | 赵明,李训栓,宋长安,马朝柱,袁建挺,汪润生,李远飞,张光辉,郭晗,叶早晨,彭应全.采用真空镀膜制备的叠层结构有机场效应晶体管的研究[J].真空,2009,46(5). |
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| 作者姓名： | 赵明 李训栓 宋长安 马朝柱 袁建挺 汪润生 李远飞 张光辉 郭晗 叶早晨 彭应全 |
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| 作者单位： | 1. 兰州大学微电子研究所,甘肃,兰州,730000
2. 兰州大学微电子研究所,甘肃,兰州,730000;兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室,甘肃,兰州,730000 |
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| 基金项目： | 甘肃省自然科学基金资助项目;项目号0803RJZA104，磁学与磁性材料教育部重点实验室开放课题;项目号MMM200811 |
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| 摘 要： | 本文报道了一种叠层结构有机场效应管,它有别于一般的顶接触式和底接触式结构OFET.该器件采用真空镀膜制备,以SiO2作为绝缘层,酞菁铜CuPc作为沟道层.测量出其输出特性曲线,可看见较明显的场效应特性.对器件温度特性的研究表明,漏极电流随着温度的升高而增大.XRD分析表明,在Si/SiO2和Si/SiO2/Al两种衬底上蒸镀制备的CuPc薄膜呈多晶结构,且两种衬底上的CuPc薄膜晶粒尺度大致相等.
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| 关 键 词： | 真空镀膜 酞菁铜CuPc 叠层结构 有机场效应晶体管(OFET) |
On the organic field-effect transistors with laminated structure prepared by vacuum coating |
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| ZHAO Ming,LI Xun-shuan,SONG Chan-gan,MA Chao-zhu,YUAN Jian-ting,WANG Run-sheng,LI Yuan-fei,ZHANG Guang-hui,GUO Han,YE Zao-chen,PENG Ying-quan.On the organic field-effect transistors with laminated structure prepared by vacuum coating[J].Vacuum,2009,46(5). |
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| Authors: | ZHAO Ming LI Xun-shuan SONG Chan-gan MA Chao-zhu YUAN Jian-ting WANG Run-sheng LI Yuan-fei ZHANG Guang-hui GUO Han YE Zao-chen PENG Ying-quan |
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