| 基于模糊图像合成的微结构平面运动测量技术 |
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| 引用本文： | 金翠云,栗大超,冯亚林,靳世久,曾周末,郝一龙,张大成. 基于模糊图像合成的微结构平面运动测量技术[J]. 微纳电子技术, 2003, 40(7): 208-211 |
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| 作者姓名： | 金翠云 栗大超 冯亚林 靳世久 曾周末 郝一龙 张大成 |
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| 作者单位： | 1. 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072
2. 北京大学微电子学研究院,北京,100871 |
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| 基金项目： | "863"高技术研究发展计划资助(2002AA404090) |
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| 摘 要： | 动态测试技术在MEMS研发过程中具有极为重要的作用。本文在机器微视觉的MEMS动态测试系统的基础上,基于模糊图像合成技术对MEMS谐振器的运动特性如谐振器的运动幅度、谐振频率f及品质因数Q等重要参数进行了测试,并给出了实验结果。
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| 关 键 词： | 微电子机械系统 模糊图像 谐振器 谐振频率 动态测试 运动测量 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0208-04 |
| 修稿时间： | 2003-05-15 |
Measurement technique of in-plane motion for micro-structure based on blur image synthesis |
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