| 工作压强对PECVD法制备DLC薄膜微观结构与力学性能的影响 |
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| 引用本文： | 李瑞武,周艳文,李建伟,范巍,郭媛媛,吴法宇.工作压强对PECVD法制备DLC薄膜微观结构与力学性能的影响[J].金属热处理,2019,44(1):162-166. |
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| 作者姓名： | 李瑞武 周艳文 李建伟 范巍 郭媛媛 吴法宇 |
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| 作者单位： | 1.辽宁科技大学 表面工程研究所；2. 辽宁荣信兴业电力技术有限公司 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家自然科学基金;实验室开放基金;辽宁省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 采用脉冲等离子体增强化学气相沉积方法(Pulse-PECVD)于316L不锈钢基体上制备类金刚石(DLC)薄膜,研究不同工作气压对DLC薄膜的沉积速率、表面形貌、微观结构、纳米硬度、弹性模量以及结合强度的影响规律。结果表明:随沉积气压增大,薄膜的沉积速率随之增大,压强在3 Pa时沉积速率可高达1. 4μm/h;不同气压下沉积的DLC薄膜均体现出平整光滑的表面形貌和高于不锈钢基体3倍以上的纳米硬度;沉积气压为2 Pa时,DLC薄膜在拉曼光谱中具有最小的ID/IG值,对应最高的纳米硬度16. 1 GPa和弹性模量152. 7 GPa,以及最低的粗糙度和摩擦因数0. 206。
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| 关 键 词： | 脉冲等离子体增强化学气相沉积 DLC薄膜 工作压强 拉曼光谱 力学性能 |
Effect of deposition pressure on microstructure and mechanical properties of pulse-PECVD prepared DLC films |
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| Li Ruiwu,Zhou Yanwen,Li Jianwei,Fan Wei,Guo Yuanyuan,Wu Fayu.Effect of deposition pressure on microstructure and mechanical properties of pulse-PECVD prepared DLC films[J].Heat Treatment of Metals,2019,44(1):162-166. |
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| Authors: | Li Ruiwu Zhou Yanwen Li Jianwei Fan Wei Guo Yuanyuan Wu Fayu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | pulsed plasma-enhanced chemical vapor deposition(pulse-PECVD) DLC film deposition pressure Raman spectra mechanical properties |
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