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高品质清洗技术为IC产业的发展保驾护航
作者姓名:扬雪  张伟
作者单位:本刊通讯员
摘    要:编者按:在人类社会步入21世纪的今天,现代信息技术正已空前的发展应用于人类生活的各个领域.作为信息产业乃至信息化基础和核心的半导体产业,越来越受到人们的瞩目和产业界的重视.本刊就IC产业的特殊性,洁净、空气、清洗技术、环保等诸多问题,特请海内外半导体产业知名的企业家和专家,就此话题,发表自己的观点,愿为读者提供一些启迪及参考.

关 键 词:高品质  清洗技术  产业界  发展应用  读者  专家  企业家  问题  环保  空气  半导体  核心  信息化基础  信息产业  代信息技术  社会  人类
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