第十八讲真空蒸发镀膜

2.3.3 膜材的蒸发速率 在蒸发物固(或液)相与其气相共存体系中,在热平衡状态下,根据气体分子运动论,若气体压力为p,温度为T,则单位时间内碰撞单位蒸发面积的分子数为z=1/4nv-=p/√2πmkT=pNA/√πMRT(12)式中,z为碰撞频率;n为分子密度;v为气体分子的算术平均速度;