光谱拟合法确定一种钙钛矿结构薄膜材料的复数光学常数 |
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引用本文: | 吴春华,邱家稳,许旻,张佰森,王洁冰,李林,赵印中,左华平.光谱拟合法确定一种钙钛矿结构薄膜材料的复数光学常数[J].真空科学与技术学报,2013,33(8). |
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作者姓名: | 吴春华 邱家稳 许旻 张佰森 王洁冰 李林 赵印中 左华平 |
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作者单位: | 1. 兰州空间技术物理研究所表面工程技术重点实验 室兰州730000;中国空间技术研究院总体部 北京100094 2. 中国空间技术研究院总体部 北京100094 3. 兰州空间技术物理研究所表面工程技术重点实验 室兰州730000 |
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摘 要: | 为了获得一种钙钛矿结构镧锶锰氧La0.8Sr0.2MnO3薄膜材料的复数光学常数,利用光学薄膜原理和数学优化方法,并基于钙钛矿结构材料的色散模型,对磁控溅射技术制备的不同厚度的镧锶锰氧薄膜在波数400~1250cm-1范围内的反射光谱进行了全谱拟合,并由拟合参数确定了薄膜的复数光学常数.拟合结果显示,测试光谱和拟合光谱较为一致,说明钙钛矿结构材料的色散模型适用于描述La0.8Sr0.2MnO3薄膜的光学特性,利用该色散模型并通过光谱拟合法获得La0.8Sr0.2MnO3薄膜的复数光学常数是获得此材料光学特性的一种有效的方法.
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关 键 词: | 薄膜 光学常数 光谱拟合 镧锶锰氧 |
Optical Constant of Perovskite-Structured Film Determined by Data-Fitting of Its Reflectivity Spectrum |
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Abstract: | |
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Keywords: | Thin film Optical constant Spectrum fitting La1-xSrxMnO3 |
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