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光谱拟合法确定一种钙钛矿结构薄膜材料的复数光学常数
引用本文:吴春华,邱家稳,许旻,张佰森,王洁冰,李林,赵印中,左华平.光谱拟合法确定一种钙钛矿结构薄膜材料的复数光学常数[J].真空科学与技术学报,2013,33(8).
作者姓名:吴春华  邱家稳  许旻  张佰森  王洁冰  李林  赵印中  左华平
作者单位:1. 兰州空间技术物理研究所表面工程技术重点实验 室兰州730000;中国空间技术研究院总体部 北京100094
2. 中国空间技术研究院总体部 北京100094
3. 兰州空间技术物理研究所表面工程技术重点实验 室兰州730000
摘    要:为了获得一种钙钛矿结构镧锶锰氧La0.8Sr0.2MnO3薄膜材料的复数光学常数,利用光学薄膜原理和数学优化方法,并基于钙钛矿结构材料的色散模型,对磁控溅射技术制备的不同厚度的镧锶锰氧薄膜在波数400~1250cm-1范围内的反射光谱进行了全谱拟合,并由拟合参数确定了薄膜的复数光学常数.拟合结果显示,测试光谱和拟合光谱较为一致,说明钙钛矿结构材料的色散模型适用于描述La0.8Sr0.2MnO3薄膜的光学特性,利用该色散模型并通过光谱拟合法获得La0.8Sr0.2MnO3薄膜的复数光学常数是获得此材料光学特性的一种有效的方法.

关 键 词:薄膜  光学常数  光谱拟合  镧锶锰氧

Optical Constant of Perovskite-Structured Film Determined by Data-Fitting of Its Reflectivity Spectrum
Abstract:
Keywords:Thin film  Optical constant  Spectrum fitting  La1-xSrxMnO3
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