| 同步辐射光源光束线光学元件碳污染原位清洗研究 |
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| 引用本文： | 尉伟,张波,洪远志,裴香涛,范乐,王勇,潘海滨,闫文盛,王峰.同步辐射光源光束线光学元件碳污染原位清洗研究[J].真空科学与技术学报,2013,33(6). |
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| 作者姓名： | 尉伟 张波 洪远志 裴香涛 范乐 王勇 潘海滨 闫文盛 王峰 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学国家同步辐射实验室 合肥 230029 |
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| 基金项目： | 中央高校基本科研业务费专项资金资助项目，中国科学院科研装备研制项目 |
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| 摘 要： | 通过采用射频等离子体对由于表面碳污染减少光通量的同步辐射光学元件进行原位清洗实验,利用质谱仪、X射线电子能谱对清洗过程以及表面变化进行监测,并对清洗过程截止点进行研究.结果表明射频等离子体清洗方法可有效去除严重影响光束线使用效率的碳污染,提高光束线使用效率；通过监测气体成分变化能为截止点判断提供有效依据.
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| 关 键 词： | 同步辐射光束线 光学元件 碳污染 原位清洗 |
In-Situ Cleaning of Carbon-Contaminated Optical Components in Beam-Line of Synchrotron Radiation Light Source |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | SR beamline Optical components Carbon contamination In-situ cleaning |
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