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| YZ-111型压阻真空计的研制 | |
| 引用本文： | 马志兵. YZ-111型压阻真空计的研制[J]. 真空科学与技术学报, 2013, 33(2) |
| 作者姓名： | 马志兵 |
| 作者单位： | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 北京 102600 |
| 摘 要： | 介绍了一种基于扩散硅传感器的低真空测量仪表YZ-111型压阻真空计.仪表由传感器单元、信号调理单元、A/D采集单元、中央处理单元、按键和显示单元等组成.该仪器采用进口扩散硅压阻式传感器.信号被调理后由高精度数字采集系统采集、分析,直接输出数字信号.配以温度补偿技术,保证它的高精度.通过用高精度真空计校准,并与之比较,其测量结果达到预期. |
| 关 键 词： | 低真空测量 扩散硅传感器 高精度 达到预期 |
Development of Model YZ-111 Piezo-Resistive Vacuum Gauge |
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