| 基片温度对脉冲激光沉积CNx薄膜的组织结构和摩擦学性能的影响 |
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| 引用本文： | 杨芳儿,沈涛,郑晓华,郑晋翔.基片温度对脉冲激光沉积CNx薄膜的组织结构和摩擦学性能的影响[J].真空科学与技术学报,2013,33(4). |
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| 作者姓名： | 杨芳儿 沈涛 郑晓华 郑晋翔 |
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| 作者单位： | 浙江工业大学机械工程学院 杭州310014 |
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| 摘 要： | 采用脉冲激光烧蚀氮化碳薄膜靶,在室温至450℃基片温度下制备了CNx薄膜.利用扫描电镜、X射线衍射仪、X射线光电子谱仪和拉曼光谱仪等对薄膜的形貌、结晶性和结合键状态进行了表征.采用球-盘式摩擦仪测试了薄膜在大气中(相对湿度60％～62％)的摩擦磨损性能.结果表明:所得CNx薄膜均呈非晶状态,表面形貌与基片温度无关.随着基片温度的升高,薄膜含氮量由原子分数25.3％下降至21.2％,膜中sp3C-C键的含量增加且在300℃时达到最高,N-sp3C键的含量下降且在150℃时最高；拉曼谱中ID/IG比值上升,G峰蓝移且半高宽下降,薄膜结构有序度升高-石墨化程度增加；薄膜的摩擦系数从0.23下降至0.13,磨损率从3.0× 10-15 m3N-1m-1上升至9.3×10-15 m3N-1m-1.
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| 关 键 词： | 薄膜 氮化碳 摩擦与磨损 X射线光电子谱 拉曼光谱 脉冲激光沉积 |
Growth and Characterization of Pulsed Laser Deposited CNx Coatings |
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