| 35CrMo钢表面化学气相沉积多层硬质涂层的结构与性能研究 |
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| 引用本文： | 张进,薛屺,李松霞,范萍.35CrMo钢表面化学气相沉积多层硬质涂层的结构与性能研究[J].真空科学与技术学报,2013,33(7). |
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| 作者姓名： | 张进 薛屺 李松霞 范萍 |
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| 作者单位： | 西南石油大学材料科学与工程学院 成都610500 |
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| 基金项目： | 四川省教育厅青年基金(12B164)国家863计划专题课题 |
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| 摘 要： | 采用化学气相沉积法在35CrMo钢基表面制备TiC/TiN双层、TiC(CN)/TiN和TiC/Ti(CN)/TiN/Al2O3多层硬质涂层,利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、显微硬度计、多功能表面力学性能试验仪和摩擦磨损试验仪测试分析了涂层的组成结构、粗糙度和表面力学性能.结果表明:三种硬质涂层表面较均匀、致密,具有高硬度、低摩擦系数等特点,较大提高了35CrMo钢的耐磨擦磨损性能.相比TiC/TiN双层,多层涂层具有更好的力学和耐磨性能,其中多层TiC/Ti(CN)/TiN的摩擦系数最小,耐磨损性能最好,原因主要归于TC/Ti(CN)/TiN涂层具有较高的显微硬度(2559HV)和良好的膜基界面结合力(70N).
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| 关 键 词： | 多层 硬质涂层 摩擦磨损 化学气相沉积 |
Characterization of Multilayered Hard Coating Grown by Chemical Vapor Deposition on 35CrMo Steel |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Multilayer Hard coatings Friction and wear Chemical vapor deposition |
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