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| 采用改进型多弧离子镀膜设备镀制装饰膜层的研究 | |
| 引用本文： | 朱元义,朱常锋,李力,朱元术.采用改进型多弧离子镀膜设备镀制装饰膜层的研究[J].真空,2013,50(2). |
| 作者姓名： | 朱元义 朱常锋 李力 朱元术 |
| 作者单位： | 1. 广州市番禺双石钛金厂,广东广州511430;肇庆市双石金属实业有限公司,广东肇庆526238 2. 广州市番禺双石钛金厂,广东广州,511430 3. 佛山市双石钢业有限公司,广东佛山,528251 |
| 基金项目： | 在省部产学研结合项目，广东省中国科学院全面战略合作项目(2011B090300044)肇庆特色产业项目(磁控溅射与离子镀联用大型连续式镀膜技术的研发)资助下完成的 |
| 摘 要： | 针对目前国内多弧离子镀膜领域存在的智能化水平不高和大颗粒污染问题,我们通过设备改进,增加了可编程逻辑控制器和磁过滤器.以装饰镀膜中常用的二氧化钛膜为研究对象,对比了设备改进前后膜层的性能.X射线衍射测试表明所制备的二氧化钛膜层为金红石相.改进后的设备制备的膜层基本看不到大颗粒的存在,且膜层的绿色更加鲜艳.同时,由于设备的智能化水平提高,使得产品的性能非常稳定,随机抽取的5个样品不论从外观看还是通过反射率测试,性能几乎一样. |
| 关 键 词： | 多弧离子镀 二氧化钛 大颗粒 |
Study of the decoration film prepared by improved multi-arc ion plating equipment |
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| ZHU Yuan-yi , ZHU Chang-feng , LI Li , ZHU Yuan-shu.Study of the decoration film prepared by improved multi-arc ion plating equipment[J].Vacuum,2013,50(2). | |
| Authors: | ZHU Yuan-yi ZHU Chang-feng LI Li ZHU Yuan-shu |
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| Keywords: | |
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