| 真空蒸发制备Sb掺杂CdTe薄膜 |
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| 引用本文： | 冯松,李蓉萍,田磊,邹凯,刘永生.真空蒸发制备Sb掺杂CdTe薄膜[J].真空,2013,50(2). |
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| 作者姓名： | 冯松 李蓉萍 田磊 邹凯 刘永生 |
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| 作者单位： | 内蒙古大学物理科学与技术学院,内蒙古呼和浩特,010021 |
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| 摘 要： | 采用真空蒸发技术在玻璃衬底上制备了Sb掺杂的CdTe薄膜,薄膜为沿(111)晶向择优生长的立方闪锌矿结构的CdTe,结果表明Sb掺杂使得薄膜表面更加均匀致密,改善了薄膜的结晶状况,增大了薄膜的光吸收范围,同时也使薄膜的带隙宽度有所减小,大大降低了薄膜的电阻率.
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| 关 键 词： | 真空蒸发 Sb掺杂 CdTe薄膜 性能研究 |
Deposition of Sb-doped CdTe thin films by vacuum evaporation |
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| FENG Song
,
LI Rong-ping
,
TIAN Lei
,
ZOU Kai
,
LIU Yong-sheng.Deposition of Sb-doped CdTe thin films by vacuum evaporation[J].Vacuum,2013,50(2). |
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| Authors: | FENG Song LI Rong-ping TIAN Lei ZOU Kai LIU Yong-sheng |
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