| 密封器件压氦和预充氦细检漏判定漏率合格的条件 |
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| 引用本文： | 薛大同,肖祥正,王庚林. 密封器件压氦和预充氦细检漏判定漏率合格的条件[J]. 真空科学与技术学报, 2013, 33(8) |
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| 作者姓名： | 薛大同 肖祥正 王庚林 |
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| 作者单位： | 1. 兰州空间技术物理研究所真空低温技术与物理重点实验室 兰州730000
2. 北京市科通电子继电器总厂 北京100054 |
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| 摘 要： | 密封器件氦质谱细检漏包括压氦法(即背压法)和预充氦法.对于压氦法,通常靠粗检鉴别是否有大漏孔,但候检时间不可过长,以免可能存在的大漏孔处于分子流状态,不能靠粗检鉴别.本文给出了最长候检时间表达式,以便既避免漏检又做好被检器件表面的净化工作.预充氦法的优点是可检测的最小等效标准漏率比压氦法低好几个量级.但用户复检时,候检时间往往已很长,如果仅靠通常的压氦法复检加粗检则发挥不出预充氦法的优点.本文改进了预充氦法:提出候检时间存在两个特征点,并给出了表达式；还对压氦法复检加粗检赋于新的重要功能,从而可以针对各种情况,用不同方法和判据,判断漏率是否合格.因此,即使候检时间已很长,仍有可能充分发挥预充氦法优点,并在漏率合格时给出被检器件的等效标准漏率.
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| 关 键 词： | 氦质谱检漏仪 检漏 密封器件 压氦 预充氦 |
Modifications of Fine Leak Detection Methodology of Hermetically Sealed Devices |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Helium mass spectrometer leak detector Leak testing Hermetically-sealed device Pressing helium,Pre-filling helium |
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