| 磁悬浮分子泵的振动抑制 |
| |
| 引用本文： | 张剀,戴兴建,张小章,武涵,邹蒙,李奇志.磁悬浮分子泵的振动抑制[J].真空科学与技术学报,2013,33(6). |
| |
| 作者姓名： | 张剀 戴兴建 张小章 武涵 邹蒙 李奇志 |
| |
| 作者单位： | 1. 清华大学工物系 北京 100084
2. 北京中科科仪股份有限公司 北京 100190 |
| |
| 基金项目： | 国家科技重大专项子项"磁浮分子泵系列产品开发与产业化"课题支持 |
| |
| 摘 要： | 2000L磁悬浮分子泵研制中,遇到复杂振动问题:转子弯曲模态共振；陀螺效应造成动力学失稳；叶轮叶片导致转子颤振；成因复杂的机电耦合模态振动.它们同时出现,严重影响转子稳定性,给振动抑制带来困难,需进行精细的控制器设计.控制器中,对不同振动采用不同方法抑制:陀螺效应依靠交叉反馈控制；弯曲共振、分子泵叶轮叶片颤振及机电耦合模态振动,依靠各种不同的控制器传递函数相位整形方法.试验验证了方法的有效性,分子泵平稳升速到24000 r/min,样机达到了设计真空性能指标.
|
| 关 键 词： | 分子泵 磁轴承 振动 控制器 |
Vibration Damping of Magnetic Bearing Turbo Molecular Pump |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | Turbo molecular pump Active magnetic bearing Vibration Controller |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
