| 溶胶-凝胶法制备Li掺杂ZnO纳米薄膜及其表征 |
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| 引用本文： | 陈新华,胡跃辉,张效华,杨丰,陈义川,陈俊,马德福.溶胶-凝胶法制备Li掺杂ZnO纳米薄膜及其表征[J].真空科学与技术学报,2013,33(5). |
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| 作者姓名： | 陈新华 胡跃辉 张效华 杨丰 陈义川 陈俊 马德福 |
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| 作者单位： | 景德镇陶瓷学院机电学院 景德镇333001 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，江西省科技支撑计划项目，江西省对外合作项目 |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶法在玻璃基底上制备了ZnO∶ Li薄膜.研究了薄膜厚度对薄膜结构及光电性能的影响,结果表明:所有薄膜均由具有c轴优先生长取向的六角纤锌矿结构的ZnO晶体构成,晶体的粒径随厚度的增加先增大而后减小；薄膜的方阻随厚度的增加先减小后增大,当薄膜厚度为6层时,可获得最低方阻；所有薄膜均是透明的,在可见光区的平均透光率＞80％；薄膜具有较强的紫外、绿光发光特性以及微弱的蓝光发光特性,随着薄膜厚度的增加,三种发光峰逐渐增强.
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| 关 键 词： | 厚度 ZnO∶ Li 溶胶-凝胶 薄膜 |
Characterization of Microstructure and Property of Sol-Gel Deposited Li-Doped ZnO Coatings |
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