99%氧化铍陶瓷活化Mo-Mn金属化机理研究 |
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引用本文: | 陈丽梅,张巨先.99%氧化铍陶瓷活化Mo-Mn金属化机理研究[J].真空电子技术,2013(4). |
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作者姓名: | 陈丽梅 张巨先 |
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作者单位: | 1. 北京真空电子技术研究所,北京,100015 2. 北京真空电子技术研究所,北京100015;大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室,北京100015 |
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摘 要: | 采用活化Mo-Mn法对99%氧化铍陶瓷进行了金属化实验和抗拉强度实验.封接强度实验结果表明,活化Mo-Mn法适合99%氧化铍陶瓷金属化封接,其焊接强度与氧化铝陶瓷相当.通过对99%氧化铍陶瓷金属化层的显微结构及金属层中的元素在金属层及陶瓷中的分布情况分析,探讨了99%氧化铍陶瓷Mo-Mn金属化机理.研究发现,99%氧化铍陶瓷金属化时,在氧化铍陶瓷和Mo海绵骨架中间形成了一层约3μm的过渡层,金属化层的Mo海绵骨架结构通过过渡层与氧化铍陶瓷基体紧密连接.
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关 键 词: | 99%氧化铍陶瓷 Mo-Mn金属化 封接强度 金属化机理 过渡层 玻璃相 |
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