| 基于分压力测量的真空材料放气率测试方法研究 |
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| 引用本文： | 冯焱,董猛,吴晓斌,李得天,成永军,张瑞芳. 基于分压力测量的真空材料放气率测试方法研究[J]. 真空, 2013, 50(4) |
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| 作者姓名： | 冯焱 董猛 吴晓斌 李得天 成永军 张瑞芳 |
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| 作者单位： | 1. 兰州空间技术物理研究所,甘肃兰州,730000
2. 中国科学院光电研究院,北京,100094 |
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| 摘 要： | 在实际工程应用中,除了需要知道真空材料的总放气率之外,往往还关心的是材料放出的某种单一气体的放气率.为此,本文提出了基于分压力测量的真空材料放气率测试方法,通过采用四极质谱计测量小孔两端的分压力来测试单一气体的放气率.基于该方法设计了测试装置,主要由真空抽气系统、双通道气路转换测试系统、压力测量与质谱分析系统三部分组成.该方.法的提出可以解决测试材料单一气体放气率的问题,同时也提高了测试结果的准确性.
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| 关 键 词： | 材料单一气体的放气率 双通道气路转换 四极质谱计 测试装置 |
Study on method for measuring vacuum materials partial outgassing rate |
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| FENG Yan , DONG Meng , WU Xiao-bin , LI De-tian , CHENG Yong-jun , ZHANG Rui-fang. Study on method for measuring vacuum materials partial outgassing rate[J]. Vacuum(China), 2013, 50(4) |
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| Authors: | FENG Yan DONG Meng WU Xiao-bin LI De-tian CHENG Yong-jun ZHANG Rui-fang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | partial outgassing rate SPP quadrupole mass spectrometer measurement apparatus |
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