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氧化铝涂层钼模具的制备
引用本文:赵建东,郝保良,刘燕文,徐振英,孟明凤.氧化铝涂层钼模具的制备[J].真空电子技术,2013(4).
作者姓名:赵建东  郝保良  刘燕文  徐振英  孟明凤
作者单位:中国科学院电子学研究所,北京,100190
摘    要:采用喷涂法在钼模具基底上沉积一层超细Al2O3,在H2气保护气氛下,经过高温烧结形成一层致密的α-Al2O3氧化膜.制备的模具结构尺寸精度较高,而且涂层氧化铝不与焊料浸润,克服了不锈钢模具配合间隙较难控制,三高石墨蒸散污染以及纯钼模具粘模的缺点.

关 键 词:喷涂  钼基底  超细氧化铝  高温烧结

Preparation of Mo Mould Coated with Superfine Al2O3by Flame Plating
ZHAO Jian-dong , HAO Bao-liang , LIU Yan-wen , XU Zhen-ying , MENG Ming-feng.Preparation of Mo Mould Coated with Superfine Al2O3by Flame Plating[J].Vacuum Electronics,2013(4).
Authors:ZHAO Jian-dong  HAO Bao-liang  LIU Yan-wen  XU Zhen-ying  MENG Ming-feng
Abstract:
Keywords:Flame plating  Base of Mo  Superfine Al2O3  High-temperature firing
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