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阳极氧化电压对TiO2纳米管阵列生长及场发射性能的影响
引用本文:洪春燕,叶芸,郭凡,颜敏,蒋亚东,郭太良.阳极氧化电压对TiO2纳米管阵列生长及场发射性能的影响[J].真空科学与技术学报,2013,33(2).
作者姓名:洪春燕  叶芸  郭凡  颜敏  蒋亚东  郭太良
作者单位:1. 福州大学物理与信息工程学院 福州350002
2. 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室 成都610054
基金项目:国家自然科学基金项目,教育部博士点博导基金项目,电子薄膜与集成器件国家重点实验室开放课题
摘    要:室温下在HF水溶液中,利用阳极氧化法在纯钛表面制备了规则有序的TiO2纳米管阵列,应用场致发射扫描电子显微镜、X射线光电子能谱对纳米管阵列表面形貌、断面结构及元素组成进行表征,并对所得样片的场发射性能进行测试,研究了阳极氧化电压对TiO2纳米管阵列形貌及场发射性能的影响.结果表明:在一定范围内增大氧化电压,可增大纳米管的管径、壁厚和管长,但壁厚变化比较小.随着氧化电压的增大,开启场强先降低后增大.当氧化电压为10 V时,所获得的TiO2纳米管阵列开启场强最低,为3.15 V/μm,在6h内8 V/μm电场下保持了稳定的场发射,电流密度为0.85 mA/cm2.

关 键 词:阳极氧化  TiO2纳米管阵列  场发射  开启场强

Fabrication and Field Emission Characteristics of TiO2 Nano-Tube Arrays
Abstract:
Keywords:
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