| 一种新型楔形膜在真空中的制作方法及测试结果 |
| |
| 引用本文： | 黄涛,刘正坤,蒋晓龙,付绍军. 一种新型楔形膜在真空中的制作方法及测试结果[J]. 真空, 2013, 50(4) |
| |
| 作者姓名： | 黄涛 刘正坤 蒋晓龙 付绍军 |
| |
| 作者单位： | 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥,230009 |
| |
| 摘 要： | 提出了一种新型楔形膜在真空中的制作方法,可以替代白光干涉位移传感器中的关键元件.该方法采用两层复制技术,用有机材料SU8胶作为楔形膜中间的材料.同时,搭建了白光干涉位移传感器系统,对制作的楔形膜进行了测量.实验结果表明,该解调系统具有较好的稳定性及较高的测量精度.
|
| 关 键 词： | 楔形膜 白光干涉 测量 精度 |
A new fabrication method of wedge film in vacuum and the test results |
| |
| HUANG Tao , LIU Zheng-kun , JIANG Xiao-long , FU Shao-jun. A new fabrication method of wedge film in vacuum and the test results[J]. Vacuum(China), 2013, 50(4) |
| |
| Authors: | HUANG Tao LIU Zheng-kun JIANG Xiao-long FU Shao-jun |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | wedge film white light interference test accuracy |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
