| 脉冲叠加直流偏压电弧离子镀TiCrNx薄膜的制备与性能研究 |
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| 引用本文： | 葛高峰,赵广彬,蒙志林,谭刚,肖鹏.脉冲叠加直流偏压电弧离子镀TiCrNx薄膜的制备与性能研究[J].真空,2013,50(2). |
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| 作者姓名： | 葛高峰 赵广彬 蒙志林 谭刚 肖鹏 |
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| 作者单位： | 西华大学材料科学与工程学院,四川成都,610039 |
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| 基金项目： | "高档数控机床与基础制造装备"科技部重大专项，四川省特种材料及制备技术重点实验室经费资助 |
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| 摘 要： | 采用脉冲叠加直流偏压电弧离子镀技术在硬质合金刀具表面制备TiCrNx薄膜,利用XRD,SEM,多功能材料表面性能测试仪等对TiCrNx薄膜进行表征.结果表明,TiCrNx与TiN薄膜相比,硬度有所下降.膜-基结合力与靶材阴极弧电流及偏压有关.
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| 关 键 词： | 脉冲叠加直流偏压电弧离子镀 TiCrNx薄膜 PVD |
Preparation and properties of TiCrNx film by pulse superposition dc bias arc ion plating |
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| GE Gao-feng
,
ZHAO Guang-bin
,
MENG Zhi-lin
,
TAN Gang
,
XIAO Peng.Preparation and properties of TiCrNx film by pulse superposition dc bias arc ion plating[J].Vacuum,2013,50(2). |
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| Authors: | GE Gao-feng ZHAO Guang-bin MENG Zhi-lin TAN Gang XIAO Peng |
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