| 氧化镍溶胶-凝胶薄膜阻变特性研究 |
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| 引用本文： | 李建昌,王玉磊,侯雪艳,巴德纯.氧化镍溶胶-凝胶薄膜阻变特性研究[J].真空科学与技术学报,2013,33(6). |
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| 作者姓名： | 李建昌 王玉磊 侯雪艳 巴德纯 |
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| 作者单位： | 东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心 沈阳 110819 |
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| 基金项目： | 高等学校博士学科点专项科研基金项目，中央高校基本研业务费专项资金 |
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| 摘 要： | 用溶胶-凝胶法在1TO基片上旋涂制备了NiO薄膜,通过对ITO/NiO薄膜/GaIn器件进行伏安特性测试,研究了溶胶浓度、退火、层数以及Cu掺杂等对其电学特性的影响.结果表明:所制备NiO薄膜具有良好可重复双极电阻开关特性.其中,2％Cu掺杂0.2 mol/L溶胶、双层、400℃退火1h制备的薄膜,阈值电压较低,约0.8 V；而开关比受以上因素影响不明显,约3× 102.分析发现薄膜高阻态的荷电输运符合空间电荷限制导电机制,而低阻态为欧姆特性,阻变开关机理为阈值电场及焦耳热导致的氧空位细丝的形成与断裂.
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| 关 键 词： | 溶胶凝胶法 NiO薄膜 阻变开关特性 导电机制 空间电荷限制导电 |
Resistive Switching of Sol-Gel Deposited NiO Thin Films |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Sol-gel method NiO film Resistive switching Charge transport mechanism SCLC |
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