| 掺钼氧化锌薄膜的发光特性 |
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| 引用本文： | 石市委,徐汉淑,李洪霞,朱煜东,孙兆奇.掺钼氧化锌薄膜的发光特性[J].真空科学与技术学报,2013,33(3). |
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| 作者姓名： | 石市委 徐汉淑 李洪霞 朱煜东 孙兆奇 |
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| 作者单位： | 安徽大学物理与材料科学学院 合肥230039;光电信息获取与控制教育部重点实验室 合肥230039;安徽省信息材料与器件重点实验室 合肥230039 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目，安徽大学青年科学研究基金项目 |
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| 摘 要： | 使用磁控溅射法在石英基底上制备钼掺杂氧化锌薄膜.扫描电镜结果表明薄膜由晶粒大小为40～ 80 nm范围内的颗粒组成,薄膜具有六方纤锌矿型结构且沿c轴择优取向生长.在可见光范围(400～760 nm)内所有薄膜的平均光透射率超过90％.退火薄膜的光致发光(PL)光谱表明,退火处理对发光峰的位置有很大影响,随着退火温度的增加,发光峰位置从380 nm红移至400nm或从470 nm红移至525 nm.此外,钼掺杂对退火薄膜PL光谱的强度影响很大.我们认为,薄膜中缺陷浓度的变化是导致发光峰红移的主要原因,讨论了PL谱中不同的可见光的发光机制.
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| 关 键 词： | 钼掺杂 氧化锌 微结构 光致发光 退火 |
Photoluminescence of Mo-Doped ZnO Thin Films |
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