| 泵用两叠片圆形压电振子的弯曲振动分析 |
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| 引用本文： | 阚君武,吴一辉,宣明,杨志刚,吴博达,程光明. 泵用两叠片圆形压电振子的弯曲振动分析[J]. 机械工程学报, 2005, 41(1): 54-60 |
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| 作者姓名： | 阚君武 吴一辉 宣明 杨志刚 吴博达 程光明 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春,130025
2. 吉林大学机械科学与工程学院,长春,130025 |
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| 基金项目： | 国家863计划(2002AA404250)国家自然科学基金(59975040)资助项目。 |
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| 摘 要： | 为提高微型压电泵的输出能力,采用瑞利法对固定边界条件下两叠片压电振子进行了理论研究。以压电晶片与金属基板的厚度比α、直径比β(称结构参数)为变量,推导出了压电振子谐振频率及有效机电耦合系数的计算方法。通过编程计算即可获得压电振子的有效机电耦合系数和谐振频率,进而优选压电振子的结构参数。以日本产压电振子为例进行了谐振频率的计算,并与阻抗分析仪的测试的谐振频率进行了比较,二者比较接近。研究结果表明,结构参数的变化对压电振子的谐振频率和机电耦合系数影响较大,当结构参数α、β分别为0.3和0.6时,压电振子的最大有效机电耦合系数为0.52。
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| 关 键 词： | 压电振子 振动分析 瑞利法 |
| 修稿时间： | 2004-02-23 |
VIBRATION ANALYSIS OF A DOUBLE- LAYER PIEZOELECTRIC ACTUATOER FOR MICROPUMP |
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| Kan Junwu,Wu Yihui,XUAN Ming,YANG Zhigang,Wu Boda,CHENG Guangming. VIBRATION ANALYSIS OF A DOUBLE- LAYER PIEZOELECTRIC ACTUATOER FOR MICROPUMP[J]. Chinese Journal of Mechanical Engineering, 2005, 41(1): 54-60 |
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| Authors: | Kan Junwu Wu Yihui XUAN Ming YANG Zhigang Wu Boda CHENG Guangming |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Piezoelectric actuator Vibration analysis Rayleigh method |
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