| TiCN/VCN多层膜的力学和摩擦磨损性能 |
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| 引用本文： | 曹峻,许俊华,喻利花.TiCN/VCN多层膜的力学和摩擦磨损性能[J].粉末冶金材料科学与工程,2013(1):132-138. |
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| 作者姓名： | 曹峻 许俊华 喻利花 |
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| 作者单位： | 江苏科技大学 江苏省先进焊接技术重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(51074080);江苏省自然科学基金资助项目(BK2008240);江苏省研究生科研创新计划(CXLX11_0292) |
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| 摘 要： | 采用多靶磁控溅射技术,制备TiCN、VCN单层膜及一系列调制比为1的不同调制周期的TiCN/VCN多层膜。利用X射线衍射仪、纳米压痕仪、高温摩擦磨损测试仪和扫描电子显微镜,研究各种薄膜的微结构、力学性能及室温和高温摩擦磨损性能。研究表明:不同调制周期的TiCN/VCN多层膜的硬度围绕混合法则计算的硬度值上下波动,没有出现致硬现象。TiCN和VCN单层薄膜室温下的摩擦因数很低,TiCN/VCN多层膜调制周期较小时摩擦因数较高,调制周期大于10 nm时摩擦因数逐渐接近TiCN和VCN单层膜。700℃下,TiCN/VCN多层膜的摩擦因数主要取决于表面生成的TiO2和V2O5的共同作用,与TiCN相比,TiCN/VCN多层膜的高温摩擦因数较小。
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| 关 键 词： | TiCN/VCN 磁控溅射 力学性能 摩擦磨损性能 |
Mechanical and tribological performances of TiCN/VCN multilayer films |
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| CAO Jun,XU Jun-Hua,YU Li-Hua.Mechanical and tribological performances of TiCN/VCN multilayer films[J].materials science and engineering of powder metallurgy,2013(1):132-138. |
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| Authors: | CAO Jun XU Jun-Hua YU Li-Hua |
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| Affiliation: | (Key Laboratory of Advanced Welding Technology,Jiangsu University of Science and Technology,Zhenjiang 212003,China) |
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