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WC—0.5型微型真空泵的研制
引用本文:任家生,赵宁.WC—0.5型微型真空泵的研制[J].电子器件,1992,15(1):20-24.
作者姓名:任家生  赵宁
作者单位:东南大学 (任家生,赵宁),东南大学(周士良)
摘    要:WC-0.5型微型真空泵是基于变容原理工作的往复式真空泵.本文介绍了该泵的工作原理和抽气特性.文中还给出了测试结果.

关 键 词:微型  真空泵  制造
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