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| 共光路外差干涉仪中激光束角漂移的影响 | |
| 作者姓名： | 李鹏生 于瀛洁 张琢 于英满 |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学,哈尔滨,150001 |
| 基金项目： | 航天工业总公司资助的重点预研项目 |
| 摘 要： | 共光路外差干涉仪中激光束角漂移的影响＊李鹏生于瀛洁张琢于英满（哈尔滨工业大学哈尔滨１５０００１）０引言双频激光共光路外差干涉仪测量表面微细形貌原理如图１所示［１］，光路１和光路２的干涉信号的光强由光电元件接收。通过分析计算［２］，可得如下关系式：１．... |
| 关 键 词： | 干涉仪 激光束 角漂移 外差 共光路 |
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