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| 标准气体微流量计的性能测试 | |
| 引用本文： | 张涤新,吕时良. 标准气体微流量计的性能测试[J]. 真空与低温, 1995, 1(2): 73-78 |
| 作者姓名： | 张涤新 吕时良 |
| 作者单位： | 兰州物理研究所 |
| 摘 要： | 主要介绍标准微流量计的性能测试。测试结果表明；气体流量的测量范围为１７．１×１０－５～１．２２×１０－５ｐａ·Ｌ／ｓ，不确定度小于２％。 |
| 关 键 词： | 气体微流量计，性能评价，流量测量，流量标准 |
PERFORMANCE TEST OF STANDARD LOW RANGE GAS FLOWMETER |
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| Zhang Dixin, Lu Shiliang,Li Detian,Men Yang. PERFORMANCE TEST OF STANDARD LOW RANGE GAS FLOWMETER[J]. Vacuum and Cryogenics, 1995, 1(2): 73-78 | |
| Authors: | Zhang Dixin Lu Shiliang Li Detian Men Yang |
| Abstract: | |
| Keywords: | Low range gas flowmeter Performance evalation Throughput measurement Throughput calibration. |
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