| 热处理工艺对Sol-gel法制备BST薄膜性能的影响 |
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| 引用本文： | 刘敬,周宗辉.热处理工艺对Sol-gel法制备BST薄膜性能的影响[J].硅酸盐通报,2008,27(6):1274-1277. |
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| 作者姓名： | 刘敬 周宗辉 |
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| 作者单位： | 济南大学材料科学与工程学院,济南,250022 |
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| 摘 要： | 以醋酸锶、醋酸钡和钛酸四丁酯为前驱体原料,采用溶胶-凝胶(Sol-gel)法,利用旋转涂覆工艺,采用不同的热处理工艺制备了组分为Ba/Sr=0.65/0.35的Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜.采用XRD、SEM和阻抗分析仪分析薄膜的结晶、表面形貌和介电性能.研究了不同热处理工艺对BST薄膜晶化行为、结构和性能的影响.结果表明,最佳热分解温度和时间为400 ℃和30 min,最佳升温速率为0.5～1 ℃;经650 ℃热处理后,BST薄膜已基本形成ABO3型钙钛矿结构,随着热处理温度的提高,薄膜的结晶程度提高,且沿(110)晶面择优取向.经750 ℃热处理的BST薄膜表面光滑致密无裂纹,颗粒均匀分布,晶粒发育较好,且介电性能最佳.
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| 关 键 词： | BST Sol-gel 热处理工艺 |
Effect of Heat-treatment Process on Properties of Barium Strontium Titanate Thin Films Prepared by Sol-gel Method |
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| LIU Jing,ZHOU Zong-hui.Effect of Heat-treatment Process on Properties of Barium Strontium Titanate Thin Films Prepared by Sol-gel Method[J].Bulletin of the Chinese Ceramic Society,2008,27(6):1274-1277. |
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| Authors: | LIU Jing ZHOU Zong-hui |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | BST Sol-gel |
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