注入离子的横向扩展

本文评论了注入离子横向分布这一课题的最近研究成果,为了知道三维离子的分布,先论述了理论方法。考虑到分布范围的四次项,讨论了横向扩展最大时横向分布的形状和深度。其次给出检验理论预言的实验方法,并且把实验数据和理论数据作了比较。最后作为一个实际例子,用实验结果讨论了砷化镓绝缘层中质子的横向扩展。最终的结果是,对于制作微米尺寸的器件来说,注入离子和绝缘层中质子的横向扩展是不容忽视的。