| CrSiCN薄膜的力学性能及水润滑特性研究 |
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| 引用本文： | 王 波,吴志威,高 宋,周 飞.CrSiCN薄膜的力学性能及水润滑特性研究[J].润滑与密封,2016,41(3):60-65. |
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| 作者姓名： | 王 波 吴志威 高 宋 周 飞 |
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| 作者单位： | 南京林业大学机电学院,南京林业大学机电学院,南京林业大学机电学院,南京林业大学机电学院 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(51375231)；教育部博士点基金博导类项目(20133218110030)；江苏省研究生培养创新工程(KYLX0234);2014年大学生创新创业训练计划项目(201410298081X) |
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| 摘 要： | 运用非平衡磁控溅射技术,通过改变硅烷的流量,在Si(100)和316L不锈钢片基材上沉积不同元素含量的CrSiCN四元薄膜;运用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和纳米压痕仪分别研究薄膜的结构、表面形貌和纳米硬度;运用球-盘摩擦磨损试验机研究水润滑下CrSiCN薄膜与Al_2O_3小球对摩的摩擦学特性。结果表明:由于固溶强化和纳米复合结构的形成,CrSiCN薄膜在硅烷流量为10 sccm获得最大硬度19.3 GPa和最大弹性模量306.9 GPa,继续增加硅烷流量,由于薄膜结构向非晶态转变,薄膜硬度降低;硅烷流量为10 sccm得到的薄膜CrSiCN具有最低的摩擦因数0.24,随着硅烷流量的增加,由于硬度的降低和过量非晶相的形成,薄膜抗磨性能降低,摩擦因数波动较大。
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| 关 键 词： | CrSiCN薄膜 摩擦特性 水润滑 力学性能 |
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