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| ITO透明导电膜制备工艺研究 | |
| 引用本文： | 黄红梁.ITO透明导电膜制备工艺研究[J].硅谷,2012(12):103-104. |
| 作者姓名： | 黄红梁 |
| 作者单位： | 中国兴业太阳能技术控股有限公司,广东珠海519060 |
| 摘 要： | 电子器件柔性化、超薄化对柔性ITO透明导电膜需求越来越为迫切,但是由于ITO薄膜本身性质局限和柔性衬底问题,使得ITO透明导电膜的光电性能极容易受到影响。以PET柔性基材制备ITO膜为例,从ITO透明导电膜膜系结构出发,研究就ITO透明导电膜的制备工艺,对提高ITO透明导电膜的光电性能进行简要的探讨。 |
| 关 键 词： | ITO PET柔性基材 卷绕镀 透光率 导电性 |
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