| 溶胶凝胶生长(111)择优取向的MgO薄膜 |
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| 引用本文： | 曹晓燕,叶辉.溶胶凝胶生长(111)择优取向的MgO薄膜[J].浙江大学学报(自然科学版 ),2005,39(4):461-464. |
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| 作者姓名： | 曹晓燕 叶辉 |
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| 作者单位： | 曹晓燕（浙江大学 现代光学仪器国家重点实验室，浙江 杭州 310027）
叶辉 （浙江大学 现代光学仪器国家重点实验室，浙江 杭州 310027） |
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| 基金项目： | 中国科学院资助项目，浙江省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 用一种简单的方法制得MgO的前驱溶液并用溶胶凝胶法在Si（100）和Si（111）衬底上制备出（111）择优取向的MgO薄膜.使用X射线衍射曲线、摇摆曲线、原子力显微镜图来研究薄膜的微结构与基板取向、退火温度、薄膜厚度之间的关系.结果表明，在退火温度高于500℃时结晶，Si衬底的取向对MgO薄膜的取向没有显著影响.同时，退火温度的升高和薄膜厚度的增加都能使MgO（111）的择优取向性越来越好;Si的易氧化是导致镁醇盐经过高温分解结晶形成MgO（111）择优取向的主要原因.
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| 关 键 词： | MgO薄膜 溶胶凝胶法 择优取向 |
| 文章编号： | 1008-973X(2005)04-0461-04 |
Growth of highly (111) orientated MgO films by Sol-Gel method |
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| CAO Xiao-yan,YE Hui.Growth of highly (111) orientated MgO films by Sol-Gel method[J].Journal of Zhejiang University(Engineering Science),2005,39(4):461-464. |
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| Authors: | CAO Xiao-yan YE Hui |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MgO film Sol-Gel method preferred orientation |
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