512×8像素级数字化长波红外探测器研究

像素级数字化红外探测器具有更高的性能水平和更强的抗干扰能力，是红外探测器技术发展的重要方向之一。通过突破像素级数字化读出电路设计、低峰谷碲镉汞材料外延、器件制备工艺以及倒装互连等关键技术，研制出了一种512×8像素级数字化长波红外探测器组件，并对其性能进行了测试。此探测器的响应波段为7.85～10.17 μm，平均峰值响应率为1.4×10¹¹ LSB/W，响应率非均匀性为9.13%，有效像元率为97.5%，噪声等效温差(Noise Equivalent Temperature Difference, NETD)为4.4 mK，动态范围为90.6 dB。测试结果表明，该探测器能够满足系统要求。