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| 硅片的抗弯强度及其测量 | |
| 作者姓名： | 谢书银 石志仪 |
| 作者单位： | 中南工业大学应用物理系 |
| 摘 要： | 研究了硅片抗弯强度，提出了一种圆片冲击定量测定硅片抗弯强度的方法，讨论了其准确度及精度并通过实验进行了偏离小挠度的校准． |
| 关 键 词： | 半导体器件 硅片 抗弯强度 测量 |
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