低硬度薄膜厚度的简易检测方法

介绍了一种检测硬基体上软薄膜厚度的简易方法——显微硬度法。并就射频溅射MoS_2膜的厚度测量与XPS、X射线衍射、表面形貌仪等方法进行了比较。结果表明,此法具有一定的检测精度,可达到一般软薄膜厚度的测量要求。