| 溶胶-凝胶制备二氧化钒薄膜的价态研究 |
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| 引用本文： | 江少群,马欣新,孙明仁. 溶胶-凝胶制备二氧化钒薄膜的价态研究[J]. 中国表面工程, 2005, 18(2): 39-43 |
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| 作者姓名： | 江少群 马欣新 孙明仁 |
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| 作者单位： | 1. 哈尔滨工业大学,材料科学系,黑龙江,哈尔滨,150001
2. 哈尔滨工业大学,材料物理化学系,黑龙江,哈尔滨,150001 |
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| 摘 要： | 采用无机溶胶-凝胶法制备了VO2热致变色薄膜，利用XPS系统地研究了烘干温度、真空热处理温度以及溶胶浓度对VO2薄膜中钒价态的影响。结果表明，保持其它工艺参数不变，薄膜中V^5 被还原的程度随烘干温度和真空热处理温度升高而增大。当烘干温度、烘干时间和真空热处理时间以及真空气压相同时，随溶胶浓度减小，VO2薄膜中V^5 被还原程度存在真空热处理温度临界点，当溶胶浓度配比为1：4～1：3时，临界温度为480℃；溶胶浓度配比为1：3～1：2时，临界温度为400℃。制备高纯VO2薄膜的优化工艺参数组合为溶胶浓度配比1：3，250℃干燥2h后于450℃氢气还原3h(保持真空度为0．5Pa)。
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| 关 键 词： | VO2薄膜 热致变色 溶胶-凝胶 XPS |
| 文章编号： | 1007-9289(2005)02-0039-05 |
| 修稿时间： | 2004-10-15 |
Study on Chemical States of VO2 Thin Films Prepared by Sol-gel Method |
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| JIANG Shao-qun,MA Xin-xin,SUN Ming-ren. Study on Chemical States of VO2 Thin Films Prepared by Sol-gel Method[J]. China Surface Engineering, 2005, 18(2): 39-43 |
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| Authors: | JIANG Shao-qun MA Xin-xin SUN Ming-ren |
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| Affiliation: | JIANG Shao-qun1,MA Xin-xin1,SUN Ming-ren2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | VO2 thin films thermochromic sol-gel XPS |
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