非平衡态分子流环境中的真空测量

在真空物理中,通常假定被抽容器中的气体处于热力学的平衡态。气体温度和密度分布是均匀、各向同性的,在任何位置分子的速度分布相同。这是一种理想状态,它意味着被抽容器或是真有很大的体积、等温抽气面的面积相对容器表面积说来十分小、可以忽略抽气作用对平衡状态的干扰;或是一般抽空后密闭的等温容器的器壁不具有抽气性能。在这种平衡状态的气体中,对某一个表面的分子入射率(分子数/秒·厘米~2)与此表面的法线的取向无关,这是一般真空测量建立的基础,也是通常真空物理中一些定律赖以成立的条件。这是气体压强(P)、流量(Q)、分子密度(n)、流导(C)、抽速(S)具有明确意义的前提。